会议专题

微机械气流式全方位水平姿态传感器气体摆特性的三维有限元分析

采用有限元方法,解释了微机械气流式全方位水平姿态传感器的气体摆特性.通过建立敏感元件的三维模型,计算了在不同倾斜状态下敏感元件中的对流场和温度场.结果表明:(1)敏感元件内自然对流气体具有”摆”的特性.(2)敏感元件中的温度场呈羽状分布.(3)当敏感元件倾斜时,热源周围两两相对的检测热敏电阻处的温度不相等,而且两者温度之差随着倾斜角度的变化而改变.该传感器利用这一特性敏感任一方位的倾斜角度.

有限元分析 气体摆特性 对流场 温度场 传感器

宋佳 朴林华 刘玉洁 李言杰 张福学

北京信息工程学院 北京 100101 北京市传感器重点实验室,北京100101

国内会议

中国电子学会第十五届电子元件学术年会

北京

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291-294

2008-11-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)