铁氧体基材溅射膜层的附着力测试方法

摘要：

利用拉伸法对铁氧体基材上溅射的金属膜层进行了附着力的测试.本文详细论述了测试原理和具体的实施办法,并讨论了使用该方法进行测量的缺憾及解决途径.

关键词： 铁氧体 溅射镀膜 膜层附着力 拉伸法 测试方法

作者: 张晔 姜海涛 解启林

作者单位: 中国电子科技集团公司第38研究所,安徽合肥,230031

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十五届电子元件学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 273-276

在线出版日期: 2008-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）