重烧对LTCC基板性能的影响

摘要：

在LTCC基板制造工艺中经常需要进行后烧结,本文对Dupont 951和Ferro A6-M LTCC材料烧结后的LTCC基板多次重烧后的电性能、机械性能、材料结构的影响进行了研究.重点研究了重烧对材料的结构和机械性能的影响.从研究的结果来看,重烧对LTCC基板的电性能影响较小,对基板的材料结构和机械性能有一定的影响,其中重烧对Dupont 951的机械性能影响较大.

关键词： LTCC基板 重烧 抗折强度 电性能 机械性能 制造工艺

作者: 董兆文 李建辉

作者单位: 中国电子科技集团公司第43所,合肥 230022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十五届电子元件学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 127-133

在线出版日期: 2008-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）