Al2O3掺杂ZnO-SiO2陶瓷的烧结特性和介电性能研究

摘要：

研究了Al2O3掺杂对ZnO-ySiO2陶瓷的烧结特性、相组成及介电性能的影响.结果表明:掺杂Al203的ZnO-SiO2陶瓷主晶相为Zn2SiO4,并有锌尖晶石ZnAl204第2相生成.掺杂Al203可使ZnO-SiO2陶瓷的烧结温区范围扩展到50℃左右,并降低陶瓷烧结温度80-100℃.随.Al2O3掺杂量的增大,陶瓷的介电常数εr变化不明显,品质因数Q×f因第2相ZnAl2O4的生成有所下降.掺杂1wt％Al203的ZnO-0.5SiO2陶瓷在1325℃烧结2h获得较佳性能:εr=6.35,测试频率为11GHz时Q×f=42500GHz,τf=-48.4ppm/℃.

关键词： 陶瓷 介电性能 烧结特性 介电常数 Al2O3掺杂

作者: 张启龙 杨辉 邹佳丽

作者单位: 浙江大学材料与化学工程学院,杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十五届电子元件学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 53-58

在线出版日期: 2008-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）