无机薄膜电致发光平板显示器的老化工艺

摘要：

本文主要阐述了一种无机薄膜电致发光(TFEL)显示器的老化技术方法.该老化方法将显示器件在氧气或者含氧气氛中预先老化足够长的时间,使TFEL器件中由薄膜的针孔等缺陷所诱发的打火自行愈合,然后再将器件封装在保护气氛中继续老化.由于在含氧气氛中,电极在打火时自身被氧化,形成绝缘层,抑制,扩展型的介质层击穿,使断线产生的可能性降到最低.这种老化方法大幅度提高了显示器的可靠性,提高了器件生产的成品率和生产效率,降低了制备薄膜所需的环境和设备要求,降低了成本,适用于大批量生产.

关键词： 无机薄膜电致发光 电致发光显示器 老化工艺 氧气氛 介质层击穿

作者: 张羿 楼均辉 肖田 刘红君 周团团

作者单位: 上海交通大学 电子信息与电气工程学院,上海 200030 上海广电电子股份有限公司 平板显示技术研究开发中心,上海 200081 上海广电电子股份有限公司 平板显示技术研究开发中心,上海 200081

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008中国平板显示学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 121-123

在线出版日期: 2008-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）