CrN基复合薄膜的结构及机械性能

摘要：

采用反应磁控溅射制备了几种CrN基复合薄膜.研究了复合对CrN薄膜的结构和摩擦磨损性能的影响.结果表明:所制备的合金复合薄膜中Al与Ti均以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体的合金复合薄膜;而CrSiN与CrBN纳米复合薄膜均为纳米晶/非晶复合结构,其中CrN均为纳米晶,而薄膜中的Si与B均以非晶的氮化物形式存在于CrN晶粒的粒界中;复合薄膜的机械性能均有不同程度的提高.

关键词： CrN基复合薄膜 磁控溅射 机械性能 摩擦磨损性能

作者: 张广安 王立平 张俊彦 闫鹏勋 薛群基

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年中国机械工程学会年会摩擦学专题会议

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 172-175

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）