沉积参数对a-CNzH薄膜摩擦学性能的影响
非晶含氢碳氮(a-CNxH)薄膜作为一种新型超润滑薄膜材料,由于具有高弹性、高硬度、耐腐蚀、低摩擦系数、高耐磨寿命以及高化学稳定性等优异的性能,从而备受材料学家的青睐。1990年,Muller首次报道了a-CNxH薄膜具有高的抗磨性能和极低的摩擦系数。随后十几年,人们开始对其摩擦学性能进行了研究。发现,由于制备工艺、沉积参数等不同,a-CNxH薄膜的内在特性差别很大,使得各个研究者观察到的现象不同。本文用自行研制的DC-RF-PECVD制备了a-CNxH薄膜,并探讨了不同沉积参数对薄膜摩擦性能的影响。
非晶含氢碳氮 沉积参数 超润滑薄膜材料 摩擦学性能
郝俊英 刘维民
中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000
国内会议
兰州
中文
148-150
2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）