含氢类富勒烯碳膜的制备及其摩擦学性能研究

摘要：

利用磁控溅射在CH4与Ar气氛下制备了一种含氢碳膜,通过高分辨透射电镜、Raman光谱、纳米压入仪以及摩擦试验机对薄膜结构及其摩擦学性能进行了分析,结果表明:该含氢碳膜结构可以表述为类富勒烯结构均匀的镶嵌在无定型碳网络当中;薄膜表现出较高的硬度(21GPa)和高的弹性恢复(85％)能力,并且在空气中表现出极低的摩擦系数.

关键词： 含氢碳膜 制备工艺 类富勒烯结构 摩擦学性能

作者: 王鹏 王霞 张俊彦 刘维民

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州 730000 中国科学院兰州化学物理研究 所固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年中国机械工程学会年会摩擦学专题会议

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 109-114

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）