高纯钛结晶行为研究

摘要：

本文结合热力学和晶核长大理论,采用CVD(Chemical Vapor Deposition)法实验提纯钛,并对实验过程的成核热力学因素进行了分析,研究不同温度下化学气相沉积高纯钛的动力学特征,以及不同的动力学控制机制下气相过饱和度和结晶温度对高纯钛的结晶行为的影响.

关键词： CVD法 高纯钛 结晶行为 气相过饱和度 控制机制 动力学特征

作者: 袁继维 刘义敏

作者单位: 贵州大学材料科学与冶金工程学院,贵州 贵阳 550003

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国冶金物理化学学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 84-86

在线出版日期: 2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）