Dy/Pt合金薄膜的制备与Dy3Pt4薄膜的相转变

摘要：

应用磁控溅射在玻璃基片上交替沉积Dy和Pt并在适当的温度下进行退火制备出Dy3Pt4薄膜。X射线衍射实验表明：沉积态的Dy/Pt薄膜具有良好的周期性的层状结构。当退火温度的升高至400℃，在Dy/Pt薄膜中彤成了单一的Dy3Pt4化合物。当温度达到550℃时，此时在薄膜中发生分解反应：Dy3Pt4→2Dypt+DyPt2。当薄膜在550℃退火7天后，薄膜中的化合物Dy3Pt4已完全转变成DyPt和DyPt2。

关键词： 合金薄膜 相转变 薄膜制备 磁控溅射

作者: 成钢 顾正飞

作者单位: 桂林电子科技大学信息材料科学与工程系 广西 桂林 541004

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国相图会议暨国际相图与材料设计研讨会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 252-255

在线出版日期: 2008-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）