芯片制造业防范电压骤降最佳对策
在中国芯片制造产业，就目前的规模来看，无论在生产技术或产量规模已经取得相当辉煌的成绩，但是在对这种产业的配套要求方面的探讨相对较少，这种工业生产的工艺过程中对水、电及气供应的稳定要求非常高，本文主要探讨供电质量对其生产的影响，根据过去的运行的经验，试图提出一些方法，做为相关专业人士参考，也提供了因供电质量问题所必须注意的现象及过去所使用过的防范手段，希望能藉此取得各专业人士的回响，帮助该项产业在生产方面稳定度的提升。
发动机 不断电系统 电压骤降 供电质量
翁天瑞
中芯国际集成电路制造有限公司北京厂厂务工程处
国内会议
扬州
中文
288-292
2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）