复杂微系统的端点特性建模理论
复杂微系统的模拟要求建立统一的,适合于植入电网络仿真器计算的系统级模型.以热力学概念作为通用理论框架,建立多畴耦合微系统通用模型的-般性理论.利用热力学共轭参量”流”和”势”统一表达从属于不同物理域子系统的端点特性,可建立各个子系统多端口组件模型.结合广义的Kirchhoffian网络理论,建立适合于电网络仿真器计算的MEMS系统级模型.便于对MEMS系统进行反复模拟和优化设计.以静电微泵为例,阐述了这一建模方法的有效性.
复杂微系统 端点特性 系统模拟 Kirchhoffian网络 多物理场耦合 优化设计
林谢昭 应济
福州大学机械工程及自动化学院,福建福州,350002;浙江大学机械与能源工程学院,浙江杭州,310027 浙江大学机械与能源工程学院,浙江杭州,310027
国内会议
福州
中文
284-287
2008-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)