磁控射频溅射三SnO2薄膜的气敏光学特性研究

摘要：

采用磁控射频溅射在玻璃基片上制备SnO2薄膜,对采用不同工艺制备的薄膜进行了XRD和常温下的膜片在CO2、乙醇中的气敏光学特性与透射光谱测试.结果表明,该薄膜在常温下对测试气体有敏感效应,会引起透射光谱的变化,并且光谱透射率的变化与波长相关.

关键词： 透射率 磁控溅射 气敏薄膜 敏感效应 透射光谱 光学特性 氧化锡

作者: 冯金垣 张华锋 汪秀华

作者单位: 华南理工大学物理科学与技术学院,广州,510641

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008中国兵工光学与光电子学学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 160-161,163

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）