激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究

摘要：

对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析,推导了干涉信号与表面粗糙度的数学关系式,讨论了影响测量信号的因素及表征表面粗糙度的评定参数,即表面轮廓的方均根偏差.结果表明,随着加工表面粗糙度的降低,反射光的强度逐渐增加,被测物体表面的反射率越高,越有利于测量.

关键词： 干涉效应 半导体激光 自混频干涉 粗糙度 数学关系 表面轮廓

作者: 邵静波 洪光

作者单位: 延边大学理工学院物理系,吉林,延吉,133002

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008中国兵工光学与光电子学学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 42-43

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）