超光滑表面加工方法的新进展

摘要：

通过回顾超光滑表面加工技术的发展历程,对多种具有代表性的超光滑表面加工方法的原理和应用作了简单阐述,并重点提出和介绍了一种大气等离子体抛光方法.该方法实现了利用常压等离子体激发化学反应来完成超光滑表面的无损伤抛光加工,并首次引入电容耦合式炬型等离子体源,为高质量光学表面的加工提供了一条新的途径.试验结果表明.在针对单晶硅的加工过程中实现了1/μm/min的加工速率和Ra0.6nm的表面粗糙度.

关键词： 超光滑表面 超精密加工 大气等离子体 电容耦合 表面加工 单晶硅

作者: 张巨帆 王波 董申

作者单位: 哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008中国兵工光学与光电子学学术交流会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 150-154

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）