微楔形镜加工技术研究
微楔形镜的加工不能像平行平面元件那样,采用大块抛光,切片分割的办法.针对零件尺寸小、精度要求高的特点,研究了加工过程中的粘结上盘、面形精度控制和楔形角检测等技术,设计了吸附式粘结上盘和楔形角测量等专用装置,应用于尺寸为3×3×1mm(6°)的Nd:YVO4(掺钕钒酸钇)晶体批量生产中,提高了零件的面形精度和加工可靠性.测试结果表明:面形精度优于λ/10(λ=632.8nm),表面光洁度达0/0级,楔形角合格率达98％以上.
微楔形镜 面形精度 楔形角 粘结上盘 加工可靠性 表面光洁度
熊长新
华中光电技术研究所,武汉,430073
国内会议
宜昌
中文
25-26
2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）