基于嵌入式IC制造工艺特种气体监控系统设计

摘要：

特种气体在集成电路制造过程中发挥着重大作用，但在使用过程中可能会出现气体泄漏或者气体流量压力不稳定等突发状况。本文采用ARM9作主控单元,基于嵌入式技术和分布式系统的基本原理来对特气进行有效的监控,具有数据采集处理,报警预测和通信功能,提高了生产设备的利用率,在一定程度上也保证了生产安全和产品良率。

关键词： 嵌入式系统 特种气体 监控系统 系统设计 分布式系统 数据采集 集成电路制造

作者: 石良喜

作者单位: 广东工业大学自动化学院,广州 510075

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国自动化学会中南六省(区)第26届学术年会

会议地点: 湖北十堰

会议语种:中文

在线出版日期: 2008-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）