多层纳米薄膜结构热物性重构

摘要：

基于谐波探测技术测量材料导热系数和热扩散系数的基本原理，给出3ω法用于多层纳米薄膜结构热物性实验表征的方法，考虑了层间接触热阻的作用。在频域内定义了热阻抗的概念，理论分析了各层热参数对加热膜温度波动影响的敏感性，将敏感系数与实验数据处理相结合，利用三次谐波的实部和虚部分量测量了ZrO2/SiO2增透膜多层膜结构中各层的导热系数和热扩散系数。

关键词： 多层纳米薄膜结构 层间接触热阻 热物性 谐波探测 材料导热系数 热扩散系数

作者: 王照亮 梁金国 唐大伟

作者单位: 中国石油大学储建学院,山东 东营257061 中国科学院工程热物理所,北京100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会2008年传热传质学学术会议

会议地点: 郑州

会议语种:中文

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）