转轮除湿机在微电子材料行业中的应用

摘要：

本文对转轮除湿机在微电子材料行业中的应用进行了介绍。由于电子产品及原材料的特殊性，其温、湿度及净化要求都有别于普通的舒适性空调。生产工艺各分区温、湿度常年需要控制。冷却再热处理方式、转轮除湿与常规空调相结合的处理方式的比较，及其运行性能、运行能耗比较说明，转轮除湿机的选用只需根据系统及室内工艺环境的热湿负荷、新风量大小、运行控制等因素综合考虑，选型适当，其初投资及运行能耗均能控制在合理的水平。

关键词： 电子车间 空气除湿 转轮除湿机

作者: 李伟星 郑法

作者单位: 信息产业电子第十一设计研究院副总工程师 无锡 214071 江南计算技术研究所高级工程师 无锡214083

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国暖通空调制冷2008年学术年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

在线出版日期: 2008-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）