微型电液体动力泵的研究

摘要：

本文介绍了一种新型冷却技术微型电液动力泵的工作原理，利用镀膜技术在硅片上加工了平板形状电极的微型电液动力泵。阐述了利用剥离方法来制作微型电液动力泵的电极，研究了利用库仑力驱动流体流动的电液动力泵的可行性。电极宽度40μm，长度15mm，间距50μm，为90对电极，每对电极间距100μm，流体流动的微通道为100μm 。选用无水乙醇作为工作流体，进行了静压测试，当电压加到90V时候，产生相当于250Pa的压强。

关键词： 镀膜技术 微型电液动力泵 MEMS技术 冷却技术 硅片加工 流体流动传热 库仑力驱动

作者: 张强 俞坚 于翮 吴玉庭 马重芳

作者单位: 教育部传热强化与过程节能重点实验室暨北京市传热与能源利用实验室,北京工业大学,北京,100124

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会2008年传热传质学学术会议

会议地点: 郑州

会议语种:中文

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）