参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究

摘要：

提出参数激励作用下静电驱动微机电系统(MEMS)中梁式微结构共振传感器的动力学模型，采用多尺度方法对微系统的动力学方程进行摄动分析，探讨直流偏置电压、压膜阻尼和交流激励电压幅值对系统频率响应、共振频率的影响规律，结果表明：直流偏置电压和交流电压幅值都具有软化效应，且使共振频率漂移到较小的数值范围，压膜阻尼对共振频率的影响较小，但是增大压膜阻尼会使稳态振幅的峰值明显下降。

关键词： 微机电系统 参数激励 静电驱动 共振传感器 压膜阻尼 非线性动力

作者: 张文明 孟光 周健斌 陈杰宇

作者单位: 上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室,上海200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国动力学与控制学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2008-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）