离子注入剂量的光载流子辐射测量技术研究

摘要：

介绍了光载流子辐射测量技术在离子注入剂量测量方面的应用，以11B+和31P+离子注入硅片为例分析了信号随注入剂量的关系。

关键词： 光载流子 离子注入掺杂 辐射测量 注入剂量 半导体材料 无损测量

作者: 刘显明 李斌成 张希仁

作者单位: 中国科学院光电技术研究所成都610209 电子科技大学光电信息学院成都610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年远东无损检测新技术论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

在线出版日期: 2008-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）