复合CrCO-Ti保护薄膜的热稳定性研究
用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了复合CrCO-Ti和CrCO保护薄膜,在氮气气氛条件下,研究了这些薄膜的结构、粘合力、耐磨性等随退火温度的变化规律和掺Ti对其性能的影响.得出结论:沉积的薄膜是非晶态薄膜,这些薄膜的耐磨能力达到10-8mm3/Nm;掺Ti能增强薄膜的柔韧性和负载能力,但在400℃及以上退火条件下,薄膜的结构、粘合力、耐磨能力等开始变化,而OEM为40％的复合CrCO-Ti薄膜具有较好的热稳定性.
硬薄膜 复合CrCO-Ti薄膜 氧化物 热稳定性
胡作启
华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
国内会议
北京
中文
87-90
2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）