超纯硅烷的产业化发展之路

摘要：

本文从硅烷气体的纯度、使用环节硅烷质量的保证、硅烷纯度和杂质的分析检测方法和仪器设备等方面对国内外超纯硅烷质量水平进行了分析，并对硅烷的国内外市场情况及硅烷的产能情况进行了简述，提出了硅烷产业化发展现状与对策，及产业化发展的存在问题与对策。

关键词： 硅烷气体 超纯硅烷 杂质分析 硅烷纯度

作者: 林培川

作者单位: 南京特种气体厂有限公司 211113,江苏南京

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工业气体行业发展高峰论坛

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 91-97,84

在线出版日期: 2008-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）