一种基于阻隔层的新型一步蒸镀P面电极结构研究

摘要：

本文报道了一种低成本、操作简便且低接触电阻的P型GaP欧姆接触电板结构，通过在掺的zn的P型GaP表面一步蒸镀带有阻隔层的P面电极结构，再在氮气环境中金属化，在形成蒸镀金属与GaP表面的欧姆接触的同时保证u层压焊性。该结构电极与常规结构的蒸镀电极相比，具有操作简便、成本低的特点，适用于LED芯片的规模化生产。

关键词： LED芯片 P面电极 一步蒸镀 欧姆接触 电板结构 阻隔层

作者: 万金平 龚振 刘淑梅 胡燕燕

作者单位: 南昌欣磊光电科技有限公司江西南昌42信箱330012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国LED产业与技术研讨会

会议地点: 江苏镇江

会议语种:中文

页码: 86-88

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）