P<”->/P<”+>外延片质量评估--国产与进口P<”->/P<”+>外延片性能比较

关键词： P<”->/P<”+> 外延片 评估 国产 进口 性能 硅

作者: 陈康民 曾庆光 张挺 张一峰 毛柏雄 朱朝辉

作者单位: 贝岭微电子公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 142～145

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）