太阳能级多晶硅生产技术发展现状及展望

摘要：

全面介绍了太阳能级多晶硅的生产技术现状及有代表性的新工艺、新技术的研究动态.太阳能级多晶硅生产技术主要包括西门子法、硅烷法和冶金法.冶金法因工艺简单、投资少、能耗低获得广泛的关注,但目前其产品达不到太阳能级硅的质量要求.展望未来,西门子法仍将是生产高纯度多晶硅的主流技术.

关键词： 太阳能级多晶硅 西门子法 硅烷法 冶金法

作者: 龙桂花 吴彬 韩松 丘克强

作者单位: 中南大学,化学化工学院,长沙,410083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国湿法冶金学术会议

会议地点: 江西赣州

会议语种:中文

页码: 386-392

在线出版日期: 2008-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）