GaN基紫光激光器的特性研究
GaN基激光器具有广泛的应用。如何获得平整腔面是蓝宝石衬底上制作GaN激光器的困难之一。通过对解理面的分析和不同衬底厚度时腔面形貌的比较，发现减薄衬底可以有效地降低腔面粗糙度。激光器的测量证实了腔面的改善可以降低阈值电流，增加斜率效率。利用二维光波导模型计算了脊形高度对限制因子和远场分布的影响。计算结果说明，脊形高度增加可以增加限制因子，降低远场纵横比。通过测量具有不同脊形高度的器件，证实了脊形高度增加，阈值电流降低、远场纵横比减小。
脊形高度 阈值电流 斜率效率 紫光激光器 二维光波导
张立群 张书明 江德生 朱建军 赵德刚 杨辉
中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室，北京 100083
国内会议
南京
中文
41-44
2008-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）