电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性
该文简要描述了一台频率为２．４５ＧＨｚ的电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场，微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系，当磁场达到共振条件８７．５ｍＴ，等离子体很易生产，但等离子体密度的最大值却出现在９３ｍＴ处。ＥＣＲ源在真空度０．１～１Ｐａ间均能运行。由石英、Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉陶瓷和ＢＮ构成的微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率２００～７００Ｗ之间，反射系数仅为１℅，等离子体密度达５．８×１０〈’１１〉ｃｍ〈’－３〉，电子温度为３～１２ｅＶ，该源的寿命超过３００小时。
电子回旋共振 等离子体源 特性
孙官清 刘仲阳 钏光武
联合大学原子核科学技术研究所,辐射物理与技术国家教委开放实验室 物理与技术国家教委开放实验室
国内会议
宁波
中文
140～143
1998-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）