关键词： 电子回旋共振 等离子体源 数值模拟
作者: 叶雄英 周兆英
作者单位: 名古屋大学微系统工学科 大学精密仪器与机械学系
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国科协第三届青年学术年会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 234～236
在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）