等离子质谱仪洁净实验室的建设

摘要：

为满足等离子质谱仪(ICP—MS)开发、应用条件，需要建立洁净技术实验室。本文从洁净技术概念谈起，结合等离子质谱仪(ICP-MS)安装使用的前提条件引入洁净实验室的建设指标、主要技术参数(洁净度、正压)以及解决方法等。说明了洁净室建设的过程及需要注意的问题，达到与同行互相交流学习的愿望。

关键词： 洁净实验室 等离子质谱仪 洁净技术

作者: 李军东

作者单位: 大庆油田有限责任公司测试技术服务分公司 黑龙江省大庆市 163453

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国石油和化学工业电气技术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 106-112

在线出版日期: 2008-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）