45GHz ECR 等离子体源
该文简要描述了一台频率为2.45 GHz 的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件87.5mT，等离子体很易产生，但等离子体密度的最大值却出现在93mT处。ECR源在真空度0.1￣1 Pa间均能运行。由石英、 Al<,2>O<,3>陶瓷和BN构成的微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率200￣700W间，反射系数仅为1℅，等离子体密度达5.8×10<”11>cm<”-3>，电子温度为3￣12 eV，该源的寿命超过300小时。
电子回旋共振 等离子体源
孙官清 刘仲阳 张大忠 陈剑宣 钟光武
四川大学原子核科学技术研究所 核工业西南物理研究院
国内会议
成都
中文
7～11
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）