浅析薄膜结构对传感器灵敏度的影响

摘要：

本文在电阻式半导体薄膜气体传感器薄膜结构的基础上，提出了的具有三维敏感效应的薄膜结构模型,用简单的计算模型分析了薄膜气体传感器敏感材料不同结构时的灵敏度,并与具有传统的表面连续的薄膜传感器进行了比较,得出了有益的结论。

关键词： 化学传感器 半导体薄膜 敏感材料 薄膜结构

作者: 杨英 陈向东

作者单位: 西南交通大学信息科学与技术学院成都610031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国化学传感器学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 134-136

在线出版日期: 2008-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）