蓝宝石衬底双面研磨的材料去除机理研究

摘要：

为了对监宝石衬底材料进行高效、低成本、低损伤的研磨加工,需要深入地揭示其面研磨加工的材料去除机理。材料去除机理决定了工件的表面、亚表面损伤的性质和表面形貌。通过对蓝宝石双面研磨加工进行了实验研究。借助于SEM观察被加工工件表面,发现双面研磨中磨粒进行了二体、三体延性和磨损加工痕迹,然后建立了材料的理论去除模型和进行了计算,并与实验加工值进行对比。结果表明蓝宝石双面研磨中同时存在延性去除和脆性去除,该模型可以定性地描述双面研磨加工材料的去除率。

关键词： 蓝宝石衬底材料 双面研磨加工 材料去除机理 表面损伤

作者: 张克华 文东辉 鲁聪达 袁巨龙

作者单位: 浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,超精密加工研究中心,杭州,310014;湖南大学国家高效磨削中心湖南大学长沙410082 浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,超精密加工研究中心,杭州,310014

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 200-204

在线出版日期: 2008-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）