超精密纳米胶体射流抛光试验研究
(0) 为满足现代短波光学、强光光学、电子学及薄膜科学对元件提出的超光滑表面的需求,解决小曲率半径非球面和自由曲面器件的超光滑表面加工困难,本文综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能、高吸附特性,提出一种可实现工件表面单原子层子去除的纳米胶体射流抛光方法。利用纳米颗粒与工件表面在碱性环境下的碰撞反应,设计并制造了可以实现超精密表面的纳米胶体射流抛光系统。利用此系统对K9玻璃进行抛光,试验结果表明在合适的纳米颗粒直径、射流速度及胶体粘度参数下,可以实现超精密光学表面的抛光,表面粗糙度小于1nm Rms。
超精密加工 纳米胶体 射流抛光 表面粗糙度 高比表面能
宋孝宗 张勇 张飞虎 栾殿荣
哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001 哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨, 150001
国内会议
长沙
中文
168-171
2008-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）