磨料射流抛光中各工艺参数对材料去除率及抛光区形貌的影响

摘要：

本文首先介绍了磨料射流抛光的工作原理,并从试验出发,针对射流抛光技术的主要工艺参数,诸如入射角度、射流速度、入射距离、抛光液浓度以及工作时间等对抛光特性的影响进行了试验研究。分析了各工艺参数与抛光效率和抛光点形貌的影响关系,从而获得了最佳工艺参数。在此基础上,对一平面K9光学玻璃进行了抛光试验,抛光速率约为30nm/min,抛光区粗糙度优于2.5nm,试验结粜对于磨料射流抛光加工的进一步研究奠定了试验基础。

关键词： 磨料射流抛光 工艺参数 材料去除率 表面粗糙度 抛光液

作者: 李兆泽 李圣怡 戴一帆 彭小强

作者单位: 国防科学技术大学机电工程与自动化学院长沙410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 160-164

在线出版日期: 2008-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）