大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究

摘要：

研究基于自行研制的纯钨材质的大长径比扫描探针,并将其应用于某型号的表面形貌仪,对微流道和复杂微结构的表面形貌进行了精密测量试验,并与利用单晶金刚石探针的测量结果进行对照。研究结果验证了新研制的大长一径比钨探针形貌测量的功能,尤其在高深一宽比复杂表面形貌超精密测量方面的能力。

关键词： 大长径比扫描探针 超精密测量 微结构 表面形貌仪 精密测量试验

作者: 伏明明 郭科科 陈烨 杨运海 居冰峰

作者单位: 浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 123-128

在线出版日期: 2008-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）