会议专题

新型MEMS光开关的研究

文章简介了MEMS的特点与应用,详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理,结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术,同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关,并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法,希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。

MEMS 新型光开关 PTZ压电复合膜 悬臂梁驱动 微镜 微光机电系统

王巍霓 张名亮 唐棣芳

上海交通大学技术学院

国内会议

第八届中国光电通信论坛

杭州

中文

369-379

2008-10-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)