透明导电薄膜的研究及应用

摘要：

本文分析了ITO透明导电膜的机理和基本性能，研究掺杂氧化锡薄膜、掺铝氧化锌(znO：Al)薄膜的电性能和光学性能与掺杂浓度的光学，阐述了几种透明导电薄膜的制备工艺原理和技术方法，展望了透明导电薄膜的产业化应用前景。

关键词： 透明导电膜 玻璃 薄膜工艺

作者: 姜宏 郭卫

作者单位: (中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司，471009)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国硅酸盐学会2008年电子玻璃技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 82-89

在线出版日期: 2008-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）