WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究

摘要：

本文选择钨钛作为靶材,利用超高真空射频磁控溅射系统制备WTiN薄膜，通过XRD、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了该体系合成中工作气压和Ar/N2气体比例对薄膜结构与机械性能的影响。研究结果表明：当FAr:FN2=3时,工作气压为0.5 Pa条件下,WTiN单质薄膜的硬度和弹性模量达到最大值31.5和368.6 GPa,薄膜的各项性能达到最佳，表明工作气压和Ar/N2气体比例对薄膜体系的机械性能具有直接的影响。

关键词： 钨钛薄膜 磁控溅射 薄膜结构 薄膜硬度

作者: 王明霞 肖楠 李德军

作者单位: 天津师范大学,物理与电子信息学院,天津,300387 天津市公安局,物证鉴定中心,天津,300193

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 391-393

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）