退火对Al-Cu-Fe磁控共溅射薄膜的影响

摘要：

本文采用Al、Cu、Fe三靶磁控共溅射的方法在Si(111)单晶基片上制备了Al-Cu-Fe薄膜，采用扫描电镜能谱仪和X射线衍射仪测试分析薄膜600℃退火前后的成分和组织，采用原子力显微镜分析了薄膜600℃退火前后的表面形貌和表面颗粒大小，通过纳米力学综合测试系统测试了Al-Cu-Fe薄膜600℃退火前后的硬度和弹性模量。结果表明：Al-Cu-Fe薄膜经过退火后形成了细小的β晶体相,表面形貌出现了部分颗粒长大以及颗粒细小的β相析出形成，同时Al-Cu-Fe薄膜的硬度和弹性模量明显增加,这种特性与其退火过程中组织的转变有直接的关联。

关键词： 合金薄膜 薄膜退火 薄膜晶相 薄膜硬度

作者: 周细应 王佳玥 刘延辉 徐洲

作者单位: 上海工程技术大学,材料工程学院,上海,201620;上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200030 上海工程技术大学,材料工程学院,上海,201620 上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 388-390

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）