磁控溅射制备锌薄膜的工艺与分析

摘要：

本文用扫描探针分析技术,研究了直流磁控溅射工艺参数对锌薄膜形态与生长的影响。结果表明,随着衬底温度和直流溅射功率的降低,锌薄膜表面形成了细密的锌岛，当溅射氢气压发生变化时,锌薄膜表面锌岛的尺寸没有明显变化,但表面粗糙度和垂直衬底最高落差随着氩气压的升高而升高。

关键词： 锌薄膜制备 磁控溅射 薄膜生长 薄膜密度

作者: 刘延辉 岑少易 周细应

作者单位: 上海工程技术大学,材料工程学院,上海,201620

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 369-371

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）