ITO靶材的微观结构分析

摘要：

ITO靶材是信息产业极为重要的陶瓷材料,本文对国内外的商业ITO靶材及七二五所研制的ITO靶材的微观结构进行了分析,探讨了各厂家靶材的特点,分析了目前世界领先的ITO靶材优点及我国生产的ITO靶材与世界水平的差距,为今后我国ITO靶材产业的发展仅提供参考。

关键词： 薄膜制备 ITO靶材 陶瓷材料 陶瓷结构学 微观结构

作者: 邢朋飞 邢伟 王政红 张秀勤 薛建强

作者单位: 中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南,洛阳,471039 信阳师范学院,物理电子工程学院,河南,信阳,464000

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 258-260

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）