PLD方法制备ZnO薄膜的表征

摘要：

本文用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。生长过程中用反射高能电子衍射(RHEED)对薄膜进行了监测,生长结束后用台阶仪、电子探针和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜进行了检测。通过测试分析,对用PLD方法在Si(111)衬底上制备的ZnO薄膜的生长特点、生长方式、生长速度、薄膜的形貌和成分等有了更深入的了解。

关键词： 氧化锌薄膜 激光沉积 薄膜生长 薄膜结构

作者: 王兆阳

作者单位: 沈阳航空工业学院理学院,辽宁,沈阳,110136

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 174-176

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）