铝酸镧薄膜的发光特性研究

摘要：

本文采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了非晶的铝酸镧(LaAlO3)薄膜，在空气环境中,分别在800、850、950℃进行了后退火处理。根据样品的吸收谱,在室温下测量了样品的发射谱,激发光波长分别为365、410、435nm。结果表明，随着退火温度的提高,样品发光峰的强度逐渐增强。

关键词： 铝酸镧薄膜 薄膜光学 光谱测量 磁控溅射 发光特性

作者: 杜建周 谷志刚 陈会 王乐新 赵志敏 王东生

作者单位: 南京航空航天大学,理学院,江苏,南京,210016 青岛半导体物理研究所,山东,青岛,266071

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 157-159

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）