扫描电镜低加速电压成像技术

摘要：

随着纳米技术的发展,扫描电镜低加速电压下的成像技术日益引起人们的重视。本文介绍了扫描电镜低加速电压下高分辨率成像技术的原理及方法,在纳米材料和薄膜材料研究中的应用。

关键词： 纳米材料 显微分析 扫描电镜 低电压成像

作者: 唐圣明

作者单位: 原中国科学院,上海微系统所,上海,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 83-84

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）