Pyrex/Al多层静电键合界面力学特征分析

摘要：

本文采用公共阳极法实现了多层Pyrex玻璃与铝箔晶片的静电键合,采用MSC.MARC非线性有限元分析软件,对两层和3层Pyrex/Al键合件的界面残余应力及变形等力学特征进行对比分析。由于玻璃/铝/玻璃3层阳极键合试件的对称结构,键合界面附近的残余应力和应变均呈对称分布而有利于减缓变形。试件最大等效应力值均位于靠近连接界面的过渡层,使该部位成为阳极键舍的薄弱环节，研究结果对于MEMS器件的精密封装工艺质量控制具有重要的意义。

关键词： 复合材料 静电键合 材料应力 有限元分析

作者: 孟庆森 马秋平 刘翠荣

作者单位: 太原理工大学,材料科学与工程学院,山西,太原,030024 太原科技大学,材料科学与工程学院,山西,太原,030024

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 75-78

在线出版日期: 2008-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）