An Integrated Platform for the Design,Fabrication and Inspection of Freeform Optics

摘要：

光电及光通讯产品的高性能指标对设计、制造以及测量具有微米形状精度及纳米表面光洁度的超精密光学自由曲面提出了严格的要求。超精密自由曲面的成功制造不仅仅依赖于机床本身的高精度.而且很大程度上取决于先进光学设计、加工过程的建模与优化、自由曲面测量与分析等方面的综合考虑。本文提出了一个设计、制造及测量超精密光学自由曲面的综合系统。初步实验结果显示所提出的系统平台为优化加工超精密自由曲面提供r重要途径与依据。

关键词： 自由光学 自由曲面 曲面测量 集成平台 超精密机床

作者: W.B. Lee C.F.Cheung L.B.Kong S.To J.B.Jiang

作者单位: Advanced Optics Manufacturing Centre, Department of Industrial and System Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Hung Hom, Kowloon, Hong Kong

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届粤港机电工程技术与应用研讨会

会议地点: 香港

会议语种:英文

页码: 126-129

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）