MEMS压阻式加速度传感器的研究进展

摘要：

介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展.

关键词： MEMS压阻 加速度传感器 工作原理 性能分析

作者: 范树新 耿振亚 聂丽梅

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008全国矿山节能减排和谐发展学术年会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 120-121,147

在线出版日期: 2008-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）