力平衡式微加速度计系统特性研究

摘要：

力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点,文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原理,通过对反馈方式、偏置电压极性等对加速度计性能影响的定性分析,阐述了不同情况下提高加速度计性能所应采取的措施.

关键词： 力平衡 微加速度计 偏置电压极性 反馈方式 闭环检测

作者: 张扬 曲延滨

作者单位: 哈尔滨工业大学,威海,信息科学与工程学院,山东,威海,264209

会议类型: 国内会议

会议名称: 华东六省一市自动化学会第21届学术年会——福建省科协第八届学术年会卫星会议

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 53-56

在线出版日期: 2008-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）